Beispielsweise verlassen bei Frenkel-Defekten einige der Ionen ihre normalen Gitterplätze und besetzen Zwischengitterplätze, wodurch sowohl Leerstellen als auch Zwischengitterplätze entstehen. Diese Mängel sind dem Material selbst innewohnend und erfordern nicht das Vorhandensein von Verunreinigungen oder externen Faktoren.
In ähnlicher Weise beinhalten Schottky-Defekte das Fehlen eines Ionenpaars an ihren regulären Gitterplätzen, wodurch die Gesamtstöchiometrie der Verbindung erhalten bleibt. Diese Leerstellen können auf natürliche Weise während der Bildung des Kristallgitters auftreten und erfordern nicht die Einführung fremder Spezies.
Daher werden stöchiometrische Defekte wie Frenkel- und Schottky-Defekte als intrinsische Defekte bezeichnet, da sie auf den intrinsischen Eigenschaften der Kristallstruktur des Materials beruhen und keine externen Verunreinigungen beinhalten.
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